İkisi birdenVakum pompası ve kompresörgaz işleme cihazlarıdır, ancak çalışma ilkeleri ve uygulama kapsamı farklıdır.
Vakum pompasının ana fonksiyonu, önceden belirlenmiş bir vakum derecesi elde etmek için kaptaki basıncı azaltmak için gazı reaksiyon odasından çıkarmaktır. Gaz, bir vakum durumu oluşturmak için emme ve egzoz mekanizması yoluyla boşluktan çıkarılır. Vakum pompaları genellikle laboratuvarlarda, üretim ve üretim alanlarında kullanılır. Gofret fabs, dağlama ekipmanı, biriktirme ekipmanı, EUV litografi ekipmanı, iyon implantasyon ekipmanı, tespit ve karakterizasyon ekipmanı vb.
Kompresörün fonksiyonu, gazı solumak ve sıkıştırmak, gazın basıncını arttırmak, gazı daha küçük bir hacme sıkıştırmak ve gazın yoğunluğunu ve basıncını arttırmaktır. Çalışma prensibi, gazı egzoz valfinden sıkıştırmak ve daha sonra sıkıştırılmış gazı bir gaz tankına veya başka bir ekipmana koymaktır. Kompresörler genellikle işleme ve üretim alanlarında kullanılır. Sık sık bahsettiğimiz CDA gazı kompresör tarafından sağlanır. CDA, çeşitli otomasyon ekipmanlarını ve vanalarını kontrol etmek için kullanılır. Yarı iletken üretimi için CDA çok saf ve kuru olmalıdır. Kompresör tarafından hava çıkışının, gofretin kirlenmemesini sağlamak için yağ, nemi ve diğer parçacıkları gidermek için sofistike bir filtrasyon sisteminden geçmesi gerekir.
Kategoriler nelerdirVakum pompası ve kompresör?
Yarı iletken ekipmanlarda kuru pompalar ve moleküler pompalar yaygın olarak kullanılır. Kuru bir pompa, herhangi bir sıvıyı sızdırmazlık veya soğutma ortamı olarak kullanmayan ve yağ buharı kontaminasyonu probleminden kaçınan bir vakum pompasını ifade eder. Genellikle yarı iletken ekipmanın kaba vakum ekstraksiyonu için kullanılır. Moleküler pompalar son derece yüksek vakum seviyeleri elde edebilir. Kuru pompalar ve moleküler pompalar genellikle farklı vakum seviyelerinin ihtiyaçlarını karşılamak için yarı iletken ekipmanlarda kombinasyon halinde kullanılır.
Kompresörler piston, vida, santrifüj, döner kanat hava kompresörlerine vb.
Vakum pompası ve kompresörün farklı tasarımları ve çalışma ilkeleri nedeniyle, vakum pompaları genellikle kompresörlerin yerini alamaz. Vakum pompaları gazların basıncını ve yoğunluğunu azaltabilse de, gazları daha küçük hacimlere ve daha yüksek basınçlara sıkıştıramazlar. Ayrıca, vakum pompalarının sınırlı performansı ve çalışma özellikleri nedeniyle, düşük yoğunluklu gazları ve düşük basınçlı ortamları ele almak için en uygun olanlardır.
Bu nedenle, gazın daha küçük bir hacme ve daha yüksek basınca sıkıştırılması gerekiyorsa, bir kompresör kullanılmalıdır. Aksine, gazın çıkarılması gerekiyorsa ve bir vakum durumu oluşursa, bir vakum pompası kullanılmalıdır.
Her ikisi deVakum pompası ve kompresörGaz işlemek için kullanılan cihazlardır, tasarım ve çalışma prensibinde büyük farklılıklar vardır. Vakum pompası gazın basıncını ve yoğunluğunu azaltabilse de, özellikle gazın daha küçük bir hacme ve daha yüksek basınca sıkıştırılması gerektiğinde kompresörü değiştiremez.
